Teicneolaíocht fuaraithe spraeála IMEC le haghaidh réiteach teirmeach sliseanna
Cuireann forbairt córas leictreonach ardfheidhmíochta ceanglais níos airde agus níos airde ar aghaidh maidir le cumas diomailt teasa. Is é an réiteach teirmeach traidisiúnta ná an malartóir teasa a cheangal leis an doirteal teasa, agus ansin an doirteal teasa a cheangal ar chúl an sliseanna. Tá ábhair idirnaisc chomhéadain teirmeach (TIMS) ag na hidirnaisc seo, rud a tháirgeann friotaíocht seasta teirmeach agus nach féidir a shárú trí réitigh fuaraithe níos éifeachtaí a thabhairt isteach. Beidh fuarú díreach ar chúl an sliseanna níos éifeachtaí, ach déanfaidh na réitigh micreachannel fuaraithe atá ann cheana féin grádán teochta a tháirgeadh ar an dromchla sliseanna.
Is é an réiteach fuaraithe sliseanna idéalach fuaraitheoir spraeála le asraon chuisnithe dáilte. Baineann sé go díreach le leacht fuaraithe sa idirnascadh leis an sliseanna, agus ansin é a spraeáil go hingearach go dtí an dromchla sliseanna, rud a d'fhéadfadh a chinntiú go bhfuil an teocht chéanna ag gach leacht ar an dromchla sliseanna agus an t-am teagmhála idir an chuisnithe agus an sliseanna a laghdú. Mar sin féin, tá míbhuntáistí ag an fhuaraitheoir spraeála atá ann cheana féin, toisc go bhfuil sé costasach bunaithe ar sileacain, nó nach bhfuil a trastomhas nozzle agus an próiseas iarratais ag luí leis an bpróiseas pacáistithe sliseanna.
Tá fuaraitheoir sliseanna spraeála nua forbartha ag IMEC. Ar an gcéad dul síos, úsáidtear polaiméir ard chun sileacain a athsholáthar chun costas déantúsaíochta a laghdú; Ar an dara dul síos, ag baint úsáide as teicneolaíocht déantúsaíochta priontála 3D ard-chruinneas, ní hamháin go bhfuil an nozzle ach 300 miocrón, ach freisin is féidir an léarscáil teasa agus an struchtúr inmheánach casta a mheaitseáil trí dhearadh grafach nozzle a shaincheapadh, agus is féidir an costas déantúsaíochta agus an t-am a laghdú.
Baintear éifeachtacht ard fuaraithe amach le fuaraitheoir spraeála IMEC. Ag an ráta sreafa chuisnithe de 1 L / min, ní rachaidh an méadú ar theocht sliseanna in aghaidh an achair 100W / cm2 thar 15 céim. Buntáiste eile is ea go bhfuil an brú a chuireann braoinín amháin i bhfeidhm chomh híseal le 0.3bar trí dhearadh inmheánach cliste. Sáraíonn na táscairí feidhmíochta seo luachanna caighdeánacha réitigh fuaraithe traidisiúnta. Sa réiteach traidisiúnta, ní féidir ach an t-ábhar comhéadan teirmeach a chur faoi deara an t-ardú teochta de 20-50 céim . Chomh maith leis na buntáistí a bhaineann le déantúsaíocht éifeachtach agus ar chostas íseal, tá méid réitigh IMEC i bhfad níos lú ná mar a bhaineann le réitigh atá ann cheana féin, a mheaitseálann níos fearr le méid an phacáiste sliseanna agus a thacaíonn le laghdú pacáiste sliseanna agus fuarú níos éifeachtaí.
